光柵尺可用于高精度測量的機床和系統
更新時間：2020-07-22 點擊次數：4429次
光柵尺專為需要高精度測量的機床和系統而設計。消除了由滾珠絲杠的溫度和運動特性引起的誤差和反向誤差。典型應用包括：半導體行業的測量和生產設備，電路板裝配機，精密機床，高精度機床，測量機和比較器，測量顯微鏡和其他精密測量設備。
1.用于測量高速運動27m以內的位置。尺寸和安裝方法與lida400相同
2.測量步驟很小，精度和重復精度很高。掃描方式為干涉掃描，測量基準為二相相位光柵。
3.光柵尺的測量基準為suradur玻璃矩陣光柵，掃描方式為干涉掃描。其特點是精度高，重復精度高，安裝簡單，開關受限，歸零。lif481v的特殊類型可以在10–7bar的真空環境中使用。
4.特別適用于運動速度高達10m/s的高速運動應用。它支持各種安裝方法，并且易于安裝。根據應用要求，冶金光柵的基質可以是鋼帶，玻璃或玻璃陶瓷。也可以限制開關。
5.PP雙坐標編碼器的測量基準為平面二位相光柵，掃描方式為干涉掃描。用于測量平面中的位置。
光柵尺包括柵尺或鋼帶和讀數頭。柵尺和讀數頭之間沒有機械接觸。開口的線性柵尺的長光柵直接固定在安裝面上，安裝表面的平整度直接影響線性柵尺的精度。
